三溫區滑軌式PECVD系統三溫區滑軌式PECVD系統
高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統,控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫,電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發熱元件的壽命,測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數,無須操作人員的干預,可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號,同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經驗的要求,關鍵電氣元件采用優質的進口產品,做到高性能、免維護,提高了設備質量的可靠性。 |
1、加熱系統 最高溫度 | 1200℃ | 使用溫度 | ≤1100℃ | 爐膛有效尺寸 | Φ100mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據實際需要定制。) | 爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 | 熱電偶類型 | K型熱電偶 | 控溫精度 | ±1℃ | 控溫方式 | 30段可編程控溫,PID參數自整定 | 加熱長度 | 300+300+300mm | 恒溫長度 | 500mm | 加熱原件 | 電阻絲 | 供電電源 | 單相,220V,50Hz |
2、PE射頻電源 功率輸出范圍 | 0W~500W | 最大反射功率 | 100W | 射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female | 功率穩定度 | ≤5W | 諧波分量 | ≤-50dbc | 供電電壓 | 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ | 整機效率 | >=70% | 功率因素 | >=90% | 冷卻方式 | 強制風冷 |
3、三路質子流量控制系統 連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | 標準量程(N2) | 50sccm,100sccm、500sccm(可根據用戶要求定制) | 準確度 | ±1.5%F.S | 線性 | ±1%F.S | 重復精度 | ±0.2%F.S | 響應時間 | 氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec | 工作壓差范圍 | 0.1~0.5 MPa | 最大壓力 | 3MPa | 接口 | Φ6,1/4'' | 顯示 | 4位數字顯示 | 工作環境溫度 | 5~45高純氣體 | 壓力真空表 | -0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 | 截止閥 | Φ6 | 內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
4、低真空機組 空氣相對濕度 | ≤85% | 工作環境 | 5℃~40℃ | 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ | 功率 | 1KW | 抽氣速率 | 10m3/h | 極限真空 | 5X10-1Pa | 工作壓力范圍 | 1.01325X105~1.33X10-2Pa | 耐壓值 | 0.03MPa | 容油量 | 1.1L | 進氣口口徑 | KF25 | 排氣口口徑 | KF25 | 噪音 | 50dB | 連接方式 | 采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連 |
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