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    型號：BTF-1200C-SSL-PECVD

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    型號：PECVD-500A-D

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    型號：BTF-1200C-R-PECVD

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    等離子體增強回轉PECVD系統 主要特點 我司研制的回轉PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區，輝光均勻等效，這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態，這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現象。
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    小型滑軌式PECVD系統本設備主要針對實驗中試石墨烯生長和制備使用，同時該設備可以用于碳納米管的生長?？芍苽涑龈哔|量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。
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