1700度高溫CVD系統 （高真空 低真空可選）

氣路系統參數

 質量流量計參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

 準確度：±1.5%

 線性：±0.5～1.5%

 重復精度：±0.2%

 響應時間：≤10sec

 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

 最大壓力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 顯示：4位數字顯示

 工作環境溫度：5~45高純氣體

 內外雙拋不銹鋼管：Φ6

 壓力真空表：-0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥：Φ6

 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質量流量計

低真空系統參數

 抽速：10m3/h

 極限真空度：5*10^-1pa

 電源：220v 50hz

 電機功率：0.4kw  

 進排氣連接口：KF25

 用油量：1.1L

 電機轉速：1440rpm

 工作環境溫度：5-40℃

 噪音：≤56db

 電阻真空計參數：

 1.配用規管：電阻規，

 2.測量范圍： 10⁵～10^-1 Pa，

 3.測量路數： 1路

 4.控制范圍： 5×10³～5×10^-1Pa，

 5.控制方式：繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W

 采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接

高真空系統參數

 空氣相對濕度：≤85%

 工作電壓：AC220V±10%  50/60HZ

 功率：1KW

 系統整體極限真空度：10^-5Pa

 實驗真空度：10^-3Pa

 外形尺寸：850×600×650mm

 機械泵:

 抽氣速率：10m3/h

 容油量：1.1L

 電機功率：400W

 極限壓強：6×10^-2Pa

 分子泵:

 抽氣速率：100L/S

 極限壓強：6×10^-6Pa

 啟動時間：＜2min

 額定轉速：4300轉/分

 冷卻方式：環境溫度5-32℃時，風冷；5-40℃時，水冷。

 分子泵控制器:

 電壓：220V±22V

 啟動電流：≤7A

 輸入頻率：47HZ~63HZ

 最大輸出功率：≤150W

 最大加速電壓：≤40V

 加速時間：≤3min

 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ

                        低速430HZ±5HZ

 復合真空計:

 測量路數：2路（電阻規、電離規各1路）

 工作模式：手動/自動

 電阻單元參數

 規管型號：電阻規

 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10^-1Pa

 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10^-1Pa

 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10^-1Pa

 電離單元參數

 規管型號：電離規

 可測范圍：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

 有效范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

 控制范圍：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

 規管除氣方式：焦耳去氣

 其他參數

 控制路數：4路

 控制方式：點動或區域控制/帶掉電記憶

 控制精度：±1%

 采樣時間：1s

 電源：220V±10% 50HZ

 功耗：50W

 使用環境溫度：0℃~45℃

 濕度：≤85%

 連接管路：采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優于1.0×10^-9Pa.m3/s，采用波紋管手動擋板閥與真空系統相連接。

備注：